0 Ставка
Мој налог
Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

ISO 13083:2015

Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
20. 8. 2015.

Опште информације

90.93     14. 10. 2022.

ISO

ISO/TC 201/SC 9

Међународни стандард

71.040.40  

енглески  

Куповина

Објављен

Језик на коме желите да примите документ.

Апстракт

ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.

Животни циклус

ТРЕНУТНО

ОБЈАВЉЕН
ISO 13083:2015
90.93 Одлука о потврђивању стандарда
14. 10. 2022.