Ovaj međunarodni standard specificira standardne ispitni komad koji se koristi za garanciju ispravnosti i tačnosti ispitivanja naprezanja sistema za tankoslojnih materijala čija je dužina i širina ispod 1 mm i debljina ispod 10 µm a koji su glavni sastavni materijali za mikro-elektromehaničke sisteme (MEMS), mikromašine i slične uređaje.
ОБЈАВЉЕН
SRPS EN 62047-3:2008
60.60
Стандард објављен
9. 9. 2008.