SRPS EN 62047-13:2013

Poluprovodničke komponente — Mikroelektromehaničke komponente — Deo 13: Metode ispitivanja tipa savijanja i rezanja pri merenju otpornosti lepljenja za MEMS strukture;

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures

Апстракт

Utvrđuje metode ispitivanja lepljenja između mikroelemenata i supstrata. Primenjuje se na merenje jačine lepljenja mikrostruktura pripremljenih na supstratusu, širine i debljine od 1 μm do 1 mm, tim redom. Ovaj standard utvrđuje metodu za ispitivanje lepljenja radi optimalnog izbora materijala i kondicioniranja u toku procesa za MEMS uređaje. Standard nije posebno restriktivan u pogledu komada materijala koji se uzima za ispitivanje, njegovih dimenzija i performansi mernog uređaja zato što se materijal i dimenzije komponenti MEMS uređaja mnogo razlikuju, a mašine za ispitivanje za materijale mikrodimenzija nisu još uvek generali¬zovane.