SRPS EN 62047-11:2014

Poluprovodničke komponente — Mikroelektromehaničke komponente — Deo 11: Metoda ispitivanja koeficijenta termičke linearne dilatacije autonomnih materijala za mikroelektromehaničke sisteme

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems

Апстракт

Utvrđuje metode ispitivanja za merenje linearnog koeficijenta toplotnog širenja tankih autonomnih čvrstih materijala (metal, keramika, polimer itd.) za mikroelektromehaničke sisteme čija je dužina između 0,1 mm i 1 mm i širina između 10 mikrometara i 1 mm i debljina između 0,1 mikrometara i 1 mm.