Poluprovodničke komponente — Mikroelektromehaničke komponente — Deo 22: Metoda ispitivanja otpornosti na elektromehaničko istezanje tankog provodnog sloja na fleksibilnom supstratu
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22: Electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates