Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

IEC 62047-3:2006 ED1

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing
15. 8. 2006.

Опште информације

60.60     15. 8. 2006.

IEC

TC 47/SC 47F

Међународни стандард

31.080.99  

енглески   француски  

Куповина

Објављен

Језик на коме желите да примите документ.

Апстракт

Specifies a standard test piece, which is used to guarantee the propriety and accuracy of a tensile testing system for thin film materials with length and width under 1 mm and thickness under 10 m, which are main structural materials for microelectromechanical systems (MEMS), micromachines and similar devices. It is based on such a concept that a tensile testing system can be guaranteed in propriety and accuracy, when the measured tensile strengths of the standard test pieces, whose tensile strength is pre-determined, are within the designated range. It also specifies the test pieces to minimize characteristics deviation among the pieces.

Животни циклус

ТРЕНУТНО

ОБЈАВЉЕН
IEC 62047-3:2006 ED1
60.60 Стандард објављен
15. 8. 2006.