Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

ISO 14237:2010

Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
9. 7. 2010.

Опште информације

90.93     5. 10. 2021.

ISO

ISO/TC 201/SC 6

Међународни стандард

71.040.40  

енглески   француски  

Куповина

Објављен

Језик на коме желите да примите документ.

Апстракт

ISO 14237:2010 specifies a secondary-ion mass spectrometric method for the determination of boron atomic concentration in single-crystalline silicon using uniformly doped materials calibrated by a certified reference material implanted with boron. This method is applicable to uniformly doped boron in the concentration range from 1 x 1016 atoms/cm3 to 1 x 1020 atoms/cm3.

Животни циклус

ПРЕТХОДНО

ПОВУЧЕН
ISO 14237:2000

ТРЕНУТНО

ОБЈАВЉЕН
ISO 14237:2010
90.93 Одлука о потврђивању стандарда
5. 10. 2021.