0 Ставка
Мој налог
Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

ISO 21859:2019

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
18. 6. 2019.

Опште информације

90.93     4. 10. 2024.

ISO

ISO/TC 206

Међународни стандард

81.060.30  

енглески  

Куповина

Објављен

Језик на коме желите да примите документ.

Апстракт

This document specifies a test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment. It is applicable to ceramic components of plasma-resistant components in dry etching chambers used in semiconductor manufacturing.

Животни циклус

ТРЕНУТНО

ОБЈАВЉЕН
ISO 21859:2019
90.93 Одлука о потврђивању стандарда
4. 10. 2024.