Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

IEC/TR 63258:2021

Nanotechnologies — A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
22. 3. 2021.

Опште информације

60.60     22. 3. 2021.

IEC

ISO/TC 229

Технички извештај

07.120  

енглески  

Куповина

Објављен

Језик на коме желите да примите документ.

Апстракт

IEC TR 63258:2021 is a Technical Report focused on the practical protocol of ellipsometry to evaluate the thickness of nanoscale films. This document does not include any specification of the ellipsometers, but suggests how to minimize the data variation to improve data reproducibility.


Животни циклус

ТРЕНУТНО

ОБЈАВЉЕН
IEC/TR 63258:2021
60.60 Стандард објављен
22. 3. 2021.