Објављен
This document specifies the design and metrological characteristics of coherence scanning interferometry (CSI) instruments for the areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from surface topography data, the methods described in this document are also applicable to profiling measurements.
ПОВУЧЕН
ISO 25178-604:2013
ОБЈАВЉЕН
ISO 25178-604:2025
60.60
Стандард објављен
14. 2. 2025.
Геометријске спецификације производа (GPS) – Текстура површине: Подручја – Део 604: Конструкција и карактеристике бесконтактних инструмената (кохерентна интерферометрија)
60.60 Стандард објављен