Објављен
Овај део стандарда обухвата класификацију чистоће површине на основу концентрације честица у чистим собама и припадајућем контролисаном окружењу. Дају се и препоруке о методама испитивања и мерења, као и информације о карактеристикама површине.
ПОВУЧЕН
SRPS EN ISO 14644-9:2013
ОБЈАВЉЕН
SRPS EN ISO 14644-9:2022
60.60
Стандард објављен
30. 9. 2022.