Ovaj deo standarda obuhvata klasifikaciju čistoće površine na osnovu koncentracije čestica u čistim sobama i pripadajućem kontrolisanom okruženju. Daju se i preporuke o metodama ispitivanja i merenja, kao i informacije o karakteristikama površine.
ПОВУЧЕН
SRPS EN ISO 14644-9:2013
95.99
Повучен
30. 9. 2022.
ОБЈАВЉЕН
SRPS EN ISO 14644-9:2022