prSRPS EN ISO 14644-14:2025

Чисте собе и припадајуће контролисано окружење – Део 14: Оцењивање подобности употребе опреме на основу концентрације лебдећих честица

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration

Апстракт

Ovaj deo ISO 14644 određuje metodologiju za ocenjivanje podobnosti opreme (npr. mašina, merne opreme, procesne opreme, komponenata i alata) za korišćenje u čistim prostorijama i pripadajućim kon¬trolisanim okruženjima, u odnosu na čistoću čestica u vazduhu, onako kako je to navedeno u ISO 14644-1. Veličina čestica se kreće od 0,1 mm do jednake ili veće od 5 mm (dato u ISO 14644-1).