prSRPS EN ISO 14644-14:2025

Čiste sobe i pripadajuće kontrolisano okruženje – Deo 14: Ocenjivanje podobnosti upotrebe opreme na osnovu koncentracije lebdećih čestica

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration

Apstrakt

Ovaj deo ISO 14644 određuje metodologiju za ocenjivanje podobnosti opreme (npr. mašina, merne opreme, procesne opreme, komponenata i alata) za korišćenje u čistim prostorijama i pripadajućim kon¬trolisanim okruženjima, u odnosu na čistoću čestica u vazduhu, onako kako je to navedeno u ISO 14644-1. Veličina čestica se kreće od 0,1 mm do jednake ili veće od 5 mm (dato u ISO 14644-1).