Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

prSRPS EN IEC 63567-3:2026

Полупроводничке компоненте — Оцењивање перформанси компонената за обраду полупроводника и опреме за контролу — Део 3: Метода контроле површине плочице на наноскали применом ултраљубичасте светлости

Semiconductor devices - Performance evaluation of semiconductor processing components and inspection equipment - Part 3: Nano-scale wafer surface inspection method using UV light

Опште информације

10.99     25. 11. 2024.

ISS

N022

Европски стандард

31.080.99  

енглески  

Апстракт

Животни циклус

ТРЕНУТНО

ПРОЈЕКАТ
prSRPS EN IEC 63567-3:2026
10.99 Нови пројекат се прихвата
25. 11. 2024.

Повезани пројекти

Идентичан са prEN IEC 63567-3 IDENTICAL

Идентичан са IEC 63567-3 ED1 IDENTICAL