Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

SRPS EN 62047-2:2008

Poluprovodničke komponente - Mikroelektromehaničke komponente - Deo 2: Metoda ispitivanja tankoslojnih materijala zatezanjem

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials
9. 9. 2008.

Опште информације

60.60     9. 9. 2008.

ISS

N022

Европски стандард

31.080.99  

енглески  

Куповина

Објављен

Језик на коме желите да примите документ.

Апстракт

Ovaj međunarodni standard specificira metod za ispitivanje naprezanja tankoslojnih materijala čija je dužina i širina ispod 1 mm i debljina ispod 10 µm a koji su glavni sastavni materijali za mikro-elektromehaničke sisteme (MEMS), mikromašine i slične uređaje.

Животни циклус

ТРЕНУТНО

ОБЈАВЉЕН
SRPS EN 62047-2:2008
60.60 Стандард објављен
9. 9. 2008.

Повезани пројекти

Идентичан са EN 62047-2:2006