0 Stavka
Moj nalog
Telefon: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Prodaja standarda: prodaja@iss.rs Seminari, obuke: iss-edukacija@iss.rs Informacije o standardima: infocentar@iss.rs
Stevana Brakusa 2, 11030 Beograd
Glavni meni

SRPS EN 62047-2:2008

Poluprovodničke komponente - Mikroelektromehaničke komponente - Deo 2: Metoda ispitivanja tankoslojnih materijala zatezanjem

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials
9. 9. 2008.

Опште информације

60.60     9. 9. 2008.

ISS

N022

Evropski standard

31.080.99  

engleski  

Kupovina

Objavljen

Jezik na kome želite da primite dokument.

Apstrakt

Ovaj međunarodni standard specificira metod za ispitivanje naprezanja tankoslojnih materijala čija je dužina i širina ispod 1 mm i debljina ispod 10 µm a koji su glavni sastavni materijali za mikro-elektromehaničke sisteme (MEMS), mikromašine i slične uređaje.

Životni ciklus

TRENUTNO

OBJAVLJEN
SRPS EN 62047-2:2008
60.60 Standard objavljen
9. 9. 2008.

Povezani projekti

Identičan sa EN 62047-2:2006