Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

ISO/TR 15969:2021

Surface chemical analysis — Depth profiling — Measurement of sputtered depth
17. 3. 2021.

Опште информације

60.60     17. 3. 2021.

ISO

ISO/TC 201/SC 4

Технички извештај

71.040.40  

енглески  

Куповина

Објављен

Језик на коме желите да примите документ.

Апстракт

This document provides guidelines for measuring the sputtered depth in sputtered depth profiling. 
The methods of sputtered depth measurement described in this document are applicable to techniques of surface chemical analysis when used in combination with ion bombardment for the removal of a part of a solid sample to a typical sputtered depth of up to several micrometres. The depth typically determined by this approach is between 1 nm to 500 µm.

Животни циклус

ПРЕТХОДНО

ПОВУЧЕН
ISO/TR 15969:2001

ТРЕНУТНО

ОБЈАВЉЕН
ISO/TR 15969:2021
60.60 Стандард објављен
17. 3. 2021.