Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

ISO 14606:2022

Surface chemical analysis — Sputter depth profiling — Optimization using layered systems as reference materials
21. 11. 2022.

Опште информације

60.60     21. 11. 2022.

ISO

ISO/TC 201/SC 4

Међународни стандард

71.040.40  

енглески  

Куповина

Објављен

Језик на коме желите да примите документ.

Апстракт

This document gives guidance and requirements on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials, in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.
This document is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.

Животни циклус

ПРЕТХОДНО

ПОВУЧЕН
ISO 14606:2015

ТРЕНУТНО

ОБЈАВЉЕН
ISO 14606:2022
60.60 Стандард објављен
21. 11. 2022.