Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

ISO 19383:2026

Atomic layer deposition — Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
1. 6. 2026.

Опште информације

60.60     1. 6. 2026.

ISO

ISO/TC 107

Међународни стандард

25.220.01  

енглески  

Куповина

Објављен

Језик на коме желите да примите документ.

Апстракт

This document defines the chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity and anion content specification.

Животни циклус

ТРЕНУТНО

ОБЈАВЉЕН
ISO 19383:2026
60.60 Стандард објављен
1. 6. 2026.