Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

ISO/FDIS 19383

Atomic layer deposition — Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors

Опште информације

50.00     3. 12. 2025.

ISO

ISO/TC 107

Међународни стандард

25.220.01  

Апстракт

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Животни циклус

ТРЕНУТНО

ПРОЈЕКАТ
ISO/FDIS 19383
50.00 Евидентирање података о дефинитивном тексту нацрта стандарда
3. 12. 2025.