0 Stavka
Moj nalog
Telefon: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Prodaja standarda: prodaja@iss.rs Seminari, obuke: iss-edukacija@iss.rs Informacije o standardima: infocentar@iss.rs
Stevana Brakusa 2, 11030 Beograd
Glavni meni

ISO/DIS 19383

Atomic layer deposition — Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors

Опште информације

40.60     25. 7. 2025.

ISO

ISO/TC 107

Međunarodni standard

25.220.01  

Apstrakt

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Životni ciklus

TRENUTNO

PROJEKAT
ISO/DIS 19383
40.60 Završetak javne rasprave
25. 7. 2025.