SRPS EN ISO 25178-603:2025

Геометријске спецификације производа (GPS) – Текстура површине: Подручја – Део 603: Конструкција и карактеристике бесконтактних инструмената (интерферометрија са фазним померањем)

Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Design and characteristics of non-contact (phase shifting interferometry) instruments (ISO 25178-603:2025)

Апстракт

Овим документом се утврђује конструкција и метролошке карактеристике инструмената за интерферометрију са фазним померањем (PSI) за површинско мерење топографије површине. С обзиром да се профили површине могу издвојити из података о топографији површине, методе описане у овом документу су такође применљиве на профилна мерења.