SRPS EN ISO 25178-603:2025

Geometrijske specifikacije proizvoda (GPS) – Tekstura površine: Područja – Deo 603: Konstrukcija i karakteristike beskontaktnih instrumenata (interferometrija sa faznim pomeranjem)

Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Design and characteristics of non-contact (phase shifting interferometry) instruments (ISO 25178-603:2025)

Apstrakt

Ovim dokumentom se utvrđuje konstrukcija i metrološke karakteristike instrumenata za interferometriju sa faznim pomeranjem (PSI) za površinsko merenje topografije površine. S obzirom da se profili površine mogu izdvojiti iz podataka o topografiji površine, metode opisane u ovom dokumentu su takođe primenljive na profilna merenja.