0 Ставка
Мој налог
Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

SRPS EN 62047-9:2013

Poluprovodničke komponente — Mikroelektromehaničke komponente — Deo 9: Merenje čvrstoće spajanja dva vejfera za MEMS

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 9: Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS
24. 6. 2013.

Опште информације

60.60     24. 6. 2013.

ISS

N022

Европски стандард

31.080.99  

енглески  

Куповина

Објављен

Језик на коме желите да примите документ.

Апстракт

Opisuje metodu za merenje čvrstoće spajanja dva vejfera, tipove spajanja, kao što su spajanje fuzijom silicijum-na-silicijum, anodno spajanje silicijum-na-staklo i slično, kao i dimenzije struktura koje se primenjuju tokom procesuiranja/sklapanja MEMS-a.

Животни циклус

ТРЕНУТНО

ОБЈАВЉЕН
SRPS EN 62047-9:2013
60.60 Стандард објављен
24. 6. 2013.

Повезани пројекти

Идентичан са EN 62047-9:2011