SRPS EN 62047-16:2016

Poluprovodničke komponente – Mikroelektromehaničke komponente – Deo 16: Metode ispitivanja za određivanje rezidualnih naprezanja MEMS prevlaka – Metode zakrivljenosti podloge i metode izvijanja snopom konzole

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection methods

Датум објављивања: 28. 7. 2016.

Опште информације

Тренутна фаза: 60.60 Effective date: 28. 7. 2016.

Иницијатор: ISS

Припада: N022

Врста: Европски стандард

ICS: 31.080.99

Језик: енглески

Напомена: sednica 2016-05-27

Куповина

Статус: Објављен

PDF

Папир

PDF и папир

Online читање 5 дана

Online читање 30 дана

Језик

Језик на коме желите да примите документ.

Апстракт

Ovaj standard utvrđuje metode ispitivanja za merenje rezidualnih naprezanja prevlaka debljine od 0,01 μ do 10 μ u MEMS strukturama, proizvedenih metodom zakrivljenosti podloge i metodom izvijanja snopom konzole.

Животни циклус

ТРЕНУТНО

ОБЈАВЉЕН
SRPS EN 62047-16:2016
60.60 Стандард објављен
28. 7. 2016.

SRPS EN 62047-16:2016

Poluprovodničke komponente – Mikroelektromehaničke komponente – Deo 16: Metode ispitivanja za određivanje rezidualnih naprezanja MEMS prevlaka – Metode zakrivljenosti podloge i metode izvijanja snopom konzole

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection methods

Опште информације

Куповина

Апстракт

Животни циклус

ТРЕНУТНО

Повезани пројекти

Идентичан са EN 62047-16:2015