0 Stavka
Moj nalog
Telefon: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Prodaja standarda: prodaja@iss.rs Seminari, obuke: iss-edukacija@iss.rs Informacije o standardima: infocentar@iss.rs
Stevana Brakusa 2, 11030 Beograd
Glavni meni

SRPS EN 62047-16:2016

Poluprovodničke komponente – Mikroelektromehaničke komponente – Deo 16: Metode ispitivanja za određivanje rezidualnih naprezanja MEMS prevlaka – Metode zakrivljenosti podloge i metode izvijanja snopom konzole

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
28. 7. 2016.

Опште информације

60.60     28. 7. 2016.

ISS

N022

Evropski standard

31.080.99  

engleski  

sednica 2016-05-27

Kupovina

Objavljen

Jezik na kome želite da primite dokument.

Apstrakt

Ovaj standard utvrđuje metode ispitivanja za merenje rezidualnih naprezanja prevlaka debljine od 0,01 μ do 10 μ u MEMS strukturama, proizvedenih metodom zakrivljenosti podloge i metodom izvijanja snopom konzole.

Životni ciklus

TRENUTNO

OBJAVLJEN
SRPS EN 62047-16:2016
60.60 Standard objavljen
28. 7. 2016.

Povezani projekti

Identičan sa EN 62047-16:2015