0 Ставка
Мој налог
Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

IEC 63567-1 ED1

Semiconductor devices - Performance evaluation of semiconductor processing components and inspection equipment - Part 1: Transmittance evaluation method of EUV pellicle

Опште информације

40.60     13. 3. 2026.

IEC

TC 47

Међународни стандард

31.080.99  

Апстракт

Животни циклус

ТРЕНУТНО

ПРОЈЕКАТ
IEC 63567-1 ED1
40.60 Завршетак јавне расправе
13. 3. 2026.

Национална преузимања

naSRPS EN IEC 63567-1:2026  
ISS

Полупроводнички уређаји – Оцењивање перформанси компоненти опреме за обраду полупроводника и опреме за инспекцију – Део 1: Метода оцењивања пропустљивости EUV пеликле

40.60   Завршетак јавне расправе

N022 Сазнај више