Телефон: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Продаја стандарда: prodaja@iss.rs Семинари, обуке: iss-edukacija@iss.rs Информације о стандардима: infocentar@iss.rs
Стевана Бракуса 2, 11030 Београд
Главни мени

IEC 63567-1 ED1

Semiconductor devices - Performance evaluation of semiconductor processing components and inspection equipment - Part 1: Transmittance evaluation method of EUV pellicle

Опште информације

40.20     19. 12. 2025.

PRVC    13. 3. 2026.

IEC

TC 47

Међународни стандард

31.080.99  

Куповина

Уколико желите да набавите овај документ обратите се на следећу адресу: prodaja@iss.rs

Апстракт

Животни циклус

ТРЕНУТНО

ПРОЈЕКАТ
IEC 63567-1 ED1
40.20 Нацрт на јавној расправи 60 дана
19. 12. 2025.

Преглед

Да бисте видели цео садржај, морате се регистровати или пријавити помоћу корисничког имена које већ имате.

Пријавите се