IEC 63567-1 ED1
Semiconductor devices - Performance evaluation of semiconductor processing components and inspection equipment - Part 1: Transmittance evaluation method of EUV pellicle
Опште информације
40.20
19. 12. 2025.
PRVC
13. 3. 2026.
IEC
TC 47
Међународни стандард
31.080.99
Куповина
Уколико желите да набавите овај документ обратите се на следећу адресу: prodaja@iss.rs
Апстракт
Животни циклус
ТРЕНУТНО
ПРОЈЕКАТ
IEC 63567-1 ED1
40.20
Нацрт на јавној расправи 60 дана
19. 12. 2025.
Преглед
Да бисте видели цео садржај, морате се регистровати или пријавити помоћу корисничког имена које већ имате.
Пријавите се