0 Stavka
Moj nalog
Telefon: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Prodaja standarda: prodaja@iss.rs Seminari, obuke: iss-edukacija@iss.rs Informacije o standardima: infocentar@iss.rs
Stevana Brakusa 2, 11030 Beograd
Glavni meni

IEC 63567-1 ED1

Semiconductor devices - Performance evaluation of semiconductor processing components and inspection equipment - Part 1: Transmittance evaluation method of EUV pellicle

Опште информације

50.00     17. 8. 2026.

CFDIS    9. 11. 2026.

IEC

TC 47

Međunarodni standard

31.080.99  

Apstrakt

Životni ciklus

TRENUTNO

PROJEKAT
IEC 63567-1 ED1
50.00 Evidentiranje podataka o definitivnom tekstu nacrta standarda
17. 8. 2026.

Nacionalna preuzimanja

naSRPS EN IEC 63567-1:2026  
ISS

Poluprovodnički uređaji – Ocenjivanje performansi komponenti opreme za obradu poluprovodnika i opreme za inspekciju – Deo 1: Metoda ocenjivanja propustljivosti EUV pelikle

40.60   Završetak javne rasprave

N022 Saznaj više