Објављен
This document specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials.
The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.
ПОВУЧЕН
ISO 18114:2003
ОБЈАВЉЕН
ISO 18114:2021
90.20
Почетак поступка преиспитивања стандарда
15. 4. 2026.
Да бисте видели цео садржај, морате се регистровати или пријавити помоћу корисничког имена које већ имате.