SIMS method in which a mass spectrometer is used to measure the mass-to-charge quotient and abundance of secondary ions emitted from a sample as a result of bombardment by energetic ions Note 1 to entry: SIMS is, by convention, generally classified as dynamic, in which the material surface layers are continually removed as they are being measured, and static, in which the ion areic dose during measurement is restricted to less than 1016 ions/m2 in order to retain the surface in an essentially undamaged state.
SIMS
метода у којој се масена спектрометрија користи за мерење броја секундарних јона у функцији њиховог односа маса-наелектрисање, при чему се секундарни јони емитују из узорка као резултат бомбардовања јонима високе енергије
Напомена 1 уз термин: SIMS је као метода, на основу договора, класификована као динамична, у случају да се површински слој узорка континуално помера како траје мерење, и статична, када се јонска површинска доза током мерења ограничава на мање од 1016 јона/m2 да би се очувала површина узорка у неоштећеном стању.