method in which an ion beam focused into a sub-nanometre scale spot is scanned over a surface to create an image Note 1 to entry: A variety of different ion sources can be used for imaging, including helium, neon and argon.
метода у којој се фокусираним јонским снопом, пречника мањег од нанометра, скенира површина узорка како би се добила слика
Напомена 1 уз термин: За ову технику могу да се користе различити јонски извори и јони, укључујући хелијум, неон и аргон.