Telefon: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Prodaja standarda: prodaja@iss.rs Seminari, obuke: iss-edukacija@iss.rs Informacije o standardima: infocentar@iss.rs
Stevana Brakusa 2, 11030 Beograd
Glavni meni

ISO 23170:2022

Surface chemical analysis — Depth profiling — Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering
15. 6. 2022.

Опште информације

60.60     15. 6. 2022.

ISO

ISO/TC 201/SC 4

Međunarodni standard

71.040.40  

engleski  

Kupovina

Objavljen

Jezik na kome želite da primite dokument.

Apstrakt

This document specifies a method for the quantitative depth profiling of amorphous heavy metal oxide ultrathin films on Si substrates using medium energy ion scattering (MEIS).

Životni ciklus

TRENUTNO

OBJAVLJEN
ISO 23170:2022
60.60 Standard objavljen
15. 6. 2022.