Objavljen
Opisuje opšte specifikacije za mikroelektromehaničke sisteme (MEMS), izrađene od poluprovodnika, koji su osnova za specifikacije date u ostalim delovima ovih serija za različite tipove MEMS primena kao što su senzori, RF MEMS ali isključuje optičke MEMS, bio MEMS, mikro TAS i energetske MEMS.
OBJAVLJEN
SRPS EN 62047-4:2013
60.60
Standard objavljen
28. 1. 2013.