Poluprovodničke komponente — Mikroelektromehanički uređaji — Deo 8: Metoda ispitivanja pregibnom tankom trakom za merenje svojstava pri izvlačenju tankog filma
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films
Utvrđuje metodu ispitivanja, pregibnom tankom trakom, za merenje svojstava pri izvlačenju tankog filma visoke tačnosti, ponovljivosti, lakšeg poravnanja i rukovanja u odnosu na konvencionalno ispitivanje na izvlačenje.
Životni ciklus
TRENUTNO
OBJAVLJEN SRPS EN 62047-8:2013 60.60
Standard objavljen 28. 1. 2013.