Poluprovodničke komponente — Mikroelektromehaničke komponente — Deo 12: Metoda za ispitivanje zamora na savijanje tankoslojnih materijala korišćenjem vibracija na rezonanci struktura mikroelektromehaničkih sistema (MEMS)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
Utvrđuje metodu za ispitivanje zamora na savijanje tankoslojnih materijala koristeći vibracije pri rezonanci MEMS struktura mikroelektromehaničkih sistema.
Životni ciklus
TRENUTNO
OBJAVLJEN SRPS EN 62047-12:2013 60.60
Standard objavljen 24. 6. 2013.