Obuhvata opis standardne metode merenja otpornosti površine poluprovodnika pri visokim frekvencijama u zavisnosti od snage, pomoću metode rezonatora od safira.
Životni ciklus
TRENUTNO
OBJAVLJEN SRPS EN 61788-16:2013 60.60
Standard objavljen 20. 12. 2013.