Telefon: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Prodaja standarda: prodaja@iss.rs Seminari, obuke: iss-edukacija@iss.rs Informacije o standardima: infocentar@iss.rs
Stevana Brakusa 2, 11030 Beograd
Glavni meni

SRPS EN 62047-21:2015

Poluprovodničke komponente — ikroelektromehaničke komponente — Deo 21: Metoda ispitivanja Poasonovog koeficijenta za tankoslojne materijale za MEMS

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
30. 1. 2015.

Опште информације

60.60     30. 1. 2015.

ISS

N022

Evropski standard

31.080.99  

engleski  

Kupovina

Objavljen

Jezik na kome želite da primite dokument.

Apstrakt

Utvrđuje određivanje Poasonovog koeficijenta od ispitivanja dobijenih primenom uniaksijalnog i biaksijalnog opterećenja na materijale za tankoslojne mikroelektromehaničke sisteme čija su dužina i širina manje od 10 mm, a debljina od 10 µm.

Životni ciklus

TRENUTNO

OBJAVLJEN
SRPS EN 62047-21:2015
60.60 Standard objavljen
30. 1. 2015.

Povezani projekti

Identičan sa EN 62047-21:2014