SRPS EN 62047-25:2017

Poluprovodničke komponente – Mikroelektromehaničke komponente – Deo 25: Tehnologija proizvodnje MEMS na bazi silicijuma – Metoda za merenje jačine mikropovršine veze izvlačenjem i smicanjem

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area

Apstrakt

IEC 62047-25:2016 specificira metode ispitivanja na mestu upotrebe za merenje jačine vezivanja mikropovršine veze koja je izrađena mikromehaničkim tehonologijama koje se koriste u mikroelektromehaničkom sistemu na bazi silicijuma (MEMS). Ovaj dokument je primenjiv na merenja ne mestu upotrebe izvlačenja i smicanja mikropovršine veze izrađene mikroelektronskim tehnološkim procesima i drugom mikromehaničkom tehnologijom.