SRPS EN 62047-17:2016

Poluprovodničke komponente – Mikroelektromehaničke komponente – Deo 17: Metoda ispitivanja ulubljivanjem radi merenja mehaničkih svojstava tankih prevlaka

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films

Apstrakt

Ovaj standard utvrđuje metodu ispitivanja ulubljivanjem samostojeće prevlake koja je izbočena unutar prozora. Uzorak je proizveden sa mikro/nano materijalima od strukturnih prevlaka, uključujući metal, keramičke i polimerne prevlake, za MEMS, mikromašine i drugo. Debljina prevlake je opsega od 0,1 μ do 10 μ, a širina prozora pravougaone i kvadratne membrane i prečnika kružne membrane je opsega od 0,5 mm do 4 mm.