SRPS EN ISO 14644-17:2021

Čiste sobe i pripadajuće kontrolisano okruženje – Deo 17: Primena praćenja brzine taloženja čestica

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 17: Particle deposition rate applications (ISO 14644-17:2021)

Apstrakt

Ovaj deo standarda ISO 14644 daje smernice o tumačenju i primeni standarda na rezultate merenja brzine taloženja čestica (PDR) na jednoj ili više površina u čistoj sobi kao deo programa za kontrolu kontaminacije. Pruža neka uputstva o tome kako uticati na brzinu taloženja čestica i smanjiti rizik od kontaminacije čestica na osetljivim površinama. Ovaj dokument daje informacije o tome kako korisnik čiste sobe može pomoću merenja brzine taloženja čestica odrediti ograničenja koja se mogu postaviti za makročestice na osetljivim površinama. Takođe daje metod procene rizika pomoću kojeg se može uspostaviti prihvatljiv rizik od taloženja čestica na osetljive površine u čistoj prostoriji, a kada se to ne postigne, metode koje se mogu koristiti za smanjenje stope taloženja čestica.