-1
opšti termin za procese tokom kojih su površina podloge i/ili film taloga na podlozi izloženi fluksu čestica visoke energije (obično jonima gasa) koji je dovoljan da izazove promene u površinskom sloju ili promenu osobina filma
opšti termin za procese tokom kojih su površina podloge i/ili film taloga na podlozi izloženi fluksu čestica visoke energije (obično jonima gasa) koji je dovoljan da izazove promene u površinskom sloju ili promenu osobina filma
Nema informacija