SPM method of imaging surfaces by mechanically scanning a probe over the surface under study, in which the concomitant response of a detector is measured Note 1 to entry: This generic term encompasses many methods including atomic-force microscopy (AFM) (4.5.2), scanning near-field optical microscopy (SNOM) (4.5.4), scanning ion conductance microscopy (SICM) and scanning tunnelling microscopy (STM) (4.5.3). Note 2 to entry: The resolution varies from that of STM, where individual atoms can be resolved, to scanning thermal microscopy (SThM), in which the resolution is generally limited to around 1 μm.
SPM
инструмент који визуализује површину која се испитује механичким превлачењем сонде преко ње, уз истовремено очитавање сигнала
Напомена 1 уз термин: Генерички термин обухвата и методе као што су микроскопија атомских сила (АFМ) (4.5.2), скенирајућа оптичка микроскопија блиског поља (SNOМ) (4.5.4), скенирајућа микроскопија проводним јонима (SICM) и скенирајућа тунелска микроскопија (SТМ) (4.5.3).
Напомена 2 уз термин: Резолуција микроскопа варира од величине атома у STM-у до око 1 mm у скенирајућој термалној микросопији (SThM).