Auger electron spectroscopy

AES method in which an electron spectrometer (5.13) is used to measure the energy distribution of Auger electrons (5.15) emitted from a surface Note 1 to entry: An electron beam in the energy range 2 keV to 30 keV is often used for excitation of the Auger electrons. Auger electrons can also be excited with X-rays, ions and other sources but the term “Auger electron spectroscopy”, without additional qualifiers, is usually reserved for electron-beam-induced excitation. Where an X-ray source is used, the Auger electron energies are referenced to the Fermi level, but where an electron beam is used, the reference may either be the Fermi level or the vacuum level. Spectra conventionally can be presented in the direct or differential forms.

AES

метода у којој се електронски спектрометар (5.13) користи за мерење расподеле енергије Ожеових електрона (5.15) емитованих са површине узорка

Напомена 1 уз термин:   Сноп електрона од 2 keV дo 30 keV обично се користи за побуђивање емисије Ожеових електрона. Емисија Ожеових електрона може да буде изазвана и Х-зрацима, јонима и другим изворима, али је појам „спектроскопија Ожеових електрона”, без додатних одредница, обично резервисан за побуђивање помоћу снопа електрона. Када се користи извор Х-зрака, тада се енергије Ожеових електрона пореде са Фермијевим нивоима, али када се користи сноп електрона, тада поређење може бити или са Фермијевим или са вакумским нивоима. Уобичајено је да спектри буду презентовани у директном или диференцијалном облику.