Telefon: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Prodaja standarda: prodaja@iss.rs Seminari, obuke: iss-edukacija@iss.rs Informacije o standardima: infocentar@iss.rs
Stevana Brakusa 2, 11030 Beograd
Glavni meni

IEC 62047-54 ED1

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 54: Silicon based MEMS fabrication technology – Measurement method of tensile strength of microstructures

Опште информације

30.99     27. 2. 2026.

TCDV    17. 4. 2026.

IEC

TC 47/SC 47F

Međunarodni standard

31.080.99  

Apstrakt

Životni ciklus

TRENUTNO

PROJEKAT
IEC 62047-54 ED1
30.99 Nacrt komisije standarda odobrava se za javnu raspravu
27. 2. 2026.

Nacionalna preuzimanja

Mikroelektromehanički uređaji — Deo 54: Tehnologija izrade MEMS na bazi silicijuma — Metoda ispitivanja zatezanja mikrostrukture

30.98   Projekat se briše iz plana rada komisije za standarde