Poluprovodnički uređaji — Ocenjivanje performansi komponenti opreme za obradu poluprovodnika i opreme za inspekciju — Deo 4: Metode ocenjivanja tačnosti dimenzija u postupku laserskog sečenja (dajsovanja)
Semiconductor devices - Performance evaluation of semiconductor processing components and inspection equipment - Part 4: Evaluation methods for dimensional accuracy of laser dicing process