SRPS EN 62047-26:2016

Poluprovodničke komponente – Mikroelektromehaničke komponente – Deo 26: Opis i metode merenja mikrokanalnih i igličastih struktura

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures

Apstrakt

Ovaj standard utvrđuje karakteristike kanalne strukture i igličaste strukture na mikrometarskoj skali. Pored toga, daje primere merenja geometrije pomoću obe strukture. Za kanalnu strukturu, ovaj standard se primenjuje na strukture sa dubinom od 1 µm do 100 µm, zidove i rovove sa odgovarajućim širinama od 5 µm do 150 µm i proporcije od 0,006 7 do 20. Za igličastu strukturu, standard se primenjuje za strukture sa tri ili četiri lika sa visine, horizontalne širine i vertikalne širine od 2 µm ili veće, i sa dimenzijama koje stanu u kocku sa stranicom od 100 µm. Ovaj standard je primenjiv na strukturni dizajn MEMS-a i geometrijsku procenu posle MEMS procesa.