SRPS EN IEC 63616:2026

Merenje provodljivosti tankih metalnih filmova na frekvencijama mikro i milimetarskih talasnih dužina – Metoda balansiranog rezonatora sa kružnim diskom

Measurement of the conductivity for metal thin films at microwave and millimeter-wave frequencies - Balanced-type circular disk resonator method

Apstrakt

Ovaj dokument se odnosi na metodu merenja provodljivosti tankih metalnih filmova na mikrotalasnim i milimetarskim talasnim frekvencijama. Ova metoda je razvijena za procenu provodljivosti metalne folije koja se koristi za prijanjanje na podlogu ili međupovršinske provodljivosti metalnog sloja formiranog na dielektričnoj podlozi. Koristi modove višeg reda balansiranog kružnog disk-rezonatora i omogućava širokopojasna merenja provodljivosti korišćenjem jednog rezonatora.