0 Stavka
Moj nalog
Telefon: (011) 7541-421, 3409-301, 3409-335, 6547-293, 3409-310
E-mail: Prodaja standarda: prodaja@iss.rs Seminari, obuke: iss-edukacija@iss.rs Informacije o standardima: infocentar@iss.rs Sertifikaciono telo: sertifikaciono.telo@iss.rs
Stevana Brakusa 2, 11030 Beograd
Glavni meni

dnaSRPS EN IEC 63567-1:2026

Poluprovodnički uređaji – Ocenjivanje performansi komponenti opreme za obradu poluprovodnika i opreme za inspekciju – Deo 1: Metoda ocenjivanja propustljivosti EUV pelikle

Semiconductor devices - Performance evaluation of semiconductor processing components and inspection equipment - Part 1: Transmittance evaluation method of EUV pellicle

Опште информације

50.20     25. 9. 2026.

50.60    6. 11. 2026.

ISS

N022

Evropski standard

31.080.99  

engleski  

Apstrakt

Ovaj deo standarda IEC 63567-1 propisuje metodu merenja propustljivosti pelikle (zaštitne membrane) za ekstremno ultraljubičastu litografiju (EUVL) i daje smernice u pogledu uslova rada mernog uređaja za merenje propustljivosti pri upotrebi EUV zračenja kratke talasne dužine, kao i metode za izračunavanje propustljivosti u EUV opsegu.
Ovaj dokument se primenjuje na sve tipove membrana postavljenih na prednju stranu reflektivne maske (ili reflektivnog retikla) koje se koriste u EUV litografiji radi fizičke zaštite reflektivne maske od kontaminacionih čestica nastalih u komori tokom EUV ekspozicije.

Životni ciklus

TRENUTNO

PROJEKAT
dnaSRPS EN IEC 63567-1:2026
50.20 Početak postupka odobravanja definitivnog teksta nacrta standarda
25. 9. 2026.

Povezani projekti

Identičan sa FprEN IEC 63567-1:2026 IDENTICAL

Identičan sa IEC 63567-1 ED1 IDENTICAL

Pregled

Da biste videli ceo sadržaj, morate se registrovati ili prijaviti pomoću korisničkog imena koje već imate.

Prijavite se